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三维压电平移台 ║P100

产品参数
运动轴 X,Y,Z
行程 40μm
分辨率 0.2nm
外形尺寸 25x25x25mm
结构类型 机构放大式串联结构

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三维压电平移台 ║P100是采用压电陶瓷驱动的三维纳米级压电陶瓷平移台,压电平移台内部使用无摩擦及空回的柔性铰链导向机构,采用有限元仿真分析优化柔性铰链结构,柔性导向系统具有超高的导向精度,且具有高刚性、高负载、无磨损、免维护等特点。压电陶瓷平移台具有极佳的运动控制精度,分辨率和稳定性可以达到纳米量级,定位稳定时间仅为毫秒量级。压电陶瓷平移台为无磁材质,使用过程中不产生磁场同时也不受磁场的影响。压电平移台特点体积小、结构紧凑、易于集成。

◆ 外形尺寸:25x25x25mm

◆ 行程为40µm,分辨率为0.2nm;

◆ 采用无摩擦柔性导向系统设计具有超高的导向精度;

◆ 内置高性能的压电陶瓷,高可靠性。

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三维压电平移台 ║P100

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