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        对于高分辨显微科学而言,压电定位与扫描平台是最基本的研究工具。利用平台的快速响应和亚原子分辨率,科学家可以更快速地获得高质量的影像。

  研生科技生产各种类型的快速物镜镜头定位器和样品扫描器,用于反卷积和3D成像(Z分层获取)以及快速调焦。压电驱动Z扫描器通常可以达到比普通电动系统高10倍的调焦速度和精度。研生科技设计的控制器都具备很高带宽,可实现超快响应,并与主流的成像采集设备兼容。
  光阱实验往往依赖闭环压电纳米定位台和偏摆镜来提供高分辨率和稳定性。研生科技设计研发的高性能压电控制器更是此类跟踪应用的利器,大大提升了纳米定位系统的功能。



      压电纳米定位台和促动器已经在许多非接触式光学检测系统和接触式纳米测量系统中大量运用。压电纳米定位产品所具备的亚纳米精度、极好的一致性、纳米至亚纳米级的平面度和直线度是这些领域最新技术突破的前提。通过应用高级数字控制方法,扫描线性度可以提高数个数量级,而跟踪误差减小到亚原子水平。电容式纳米测量传感器可以测量亚纳米范围的运动并具有很高的带宽。

       压电促动器和纳米定位传感器同时也是纳米压印/微米压印机构以及纳米摩擦学/纳米制造实验的理想组件。  




       生物科技及相关科学的快速发展带来了高速高精度定位系统的需求。

  研生科技的压电定位系统可以使显微物镜镜头在数毫秒内完成精密聚焦,也可以帮助细胞快速排列。药物筛选技术也需要压电系统进行纳升级的微配药,并依赖压电促动器的速度、精度和超长寿命。

  目前前沿DNA研究中最重要的研究工具是扫描光学显微镜。而如果没有压电定位系统,这类显微系统根本无法工作。



       新药设计及相关生命科学的快速发展带来了高速高精度定位系统的需求。

  压电促动器的高速和非磁特点非常适合用于MRI和OCT应用中,也可以帮助实现细胞快速排列。药物筛选技术也需要压电系统进行纳升级的微配药,并依赖研生促动器的速度、精度和超长寿命。压电光束偏摆系统可用于激光束的超快和超精度角度控制。目前DNA研究中所必需的扫描光学显微镜如果没有压电定位系统也根本无法工作。



       由于压电定位技术具有很多独特之处,例如快速响应、刚性好、长寿命、无限的分辨率等,很快在从半导体测试设备到精密机械加工等许多领域中得到应用。其中,最具有代表性的应用为用于精密加工的压电快速机床伺服系统,该类系统通常装有特殊的防水外壳,并提供与机床相联的机械接口。

  压电定位系统内置测量/传感子系统,分辨率达到纳米至亚纳米级,通过数字或模拟控制器可闭环工作。柔性导向机构及运动放大机构可以在增大行程的同时保护压电陶瓷免受离轴力(侧向力和扭矩)的破坏。

  压电定位系统广泛用于世界各地的工厂中,每天工作24小时,一周7天。它们的使用大大提高了光学器件、曲轴、轴承、活塞、汽缸等的加工精度,成为机床中金刚石修整、研磨、抛光、非圆镗孔和磨损补偿等关键工艺的核心部件。



       摩尔定律一直在推动IC线宽和尺寸的变化。为了跟上技术发展的步伐,前端制造设备和测量设备中的纳米定位机构和精密运动控制系统的精度必须达到10倍至1000倍的更高精度和更小特征尺寸。振动、定位误差和漂移必须控制在0.1nm范围内(原子半径量级)。传统的定位系统已经无法提供半导体产业所需的稳定性和精度。

       在半导体领域,使用基于压电陶瓷的解决方案,包括用于减震的长寿命压电元件,用于定位的超高性能大行程纳米定位平台。其他的精密运动产品还包括用于快速光束稳定/角度校正的压电偏摆平台,用于纳米测量应用的压电柔性纳米台,用于掩模对准的纳米对准系统,用于水平和垂直定位的新型混合大行程纳米定位台。电容纳米测量传感器可以测量亚纳米尺度的运动并具有很高的带宽,也大量应用在半导体产业中。



       压电定位系统是纳米技术领域基本的研究工具。该领域诸多应用中极高的精度和速度要求使纳米定位系统的作用变得非常关键,例如纳米压印、纳米装配、超高密度数据存储和纳米制造。

  除了超快的精密定位机构,高性能的压电控制器可以得到非常高的带宽,也可以消除动态非线性问题,得到非常高的跟踪精度;主动轨迹控制技术可以消除离轴误差;特殊的陷波技术可以消除自激振动,从而达到最快的建立时间。



       压电定位系统作为一种基础工具,广泛应用于超高密度数据存储中的测试和测量系统、纳米压印、纳米装配和纳米制造。在跟随摩尔定律的过程中,它们所具备的超高精度和速度使它们成为必不可少的器件。

  通过先进的机构设计和高性能的控制技术,纳米定位的技术水平被提升到纳米级精度和毫秒级响应。



       压电纳米定位技术为MEMS和光电子设备的测试与制造提供大量的创新解决方案,产品范围从用于工业自动化的自动6D对准系统到简单的实验室装置。特有的压电驱动装置使亚毫秒的快速扫描响应成为可能。

       在该领域,压电纳米定位产品的具体应用包括光纤或光纤阵列的自动对准、用于MEMS和多通道波导器件的测试系统等。



       大型地面望远镜的分辨率会受到振动和大气扰动的限制。为了克服这些技术障碍,压电偏摆系统用于主动二次及三次镜的稳定化。压电驱动主动镜通过实时校正图像偏离,可以将有效分辨率提升1000%,很适合于弱光源的积分观测。



       在准静态应用中,压电促动器可以提供高驱动力和低功耗甚至零功耗。它们也可以在真空和极低温度下工作,而这往往是航空应用的基本要求。压电偏摆系统用于稳像应用,压电驱动的主动光学镜通过实时校正图像偏离,可以将有效分辨率提升1000%,在弱光源的积分观测中更是大显神威。


应用领域

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